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编号
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产品名称
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类别
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主要技术指标
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需突破的关键技术
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市场预测或产业化前景
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12.1
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集成电路关键装备
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略
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略
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略
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12.2
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TFT-LCD、OLED及 PDP设备
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12.2.1
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液晶显示用玻璃基板成套生产设备
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I
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可用于生产6代及以上的玻璃基板，基板尺寸1500× 1850mm以上
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应用于国内液晶面板企业
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12.2.2
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CELL摩擦机
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I
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适合6代及以上生产线，基板尺寸1500× 1850mm
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设备工作的高可靠性和运转稳定性
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应用于国内液晶面板企业,替代进口
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12.2.3
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Aging系统
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I
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OLED控制电流：0～ 100mA，控制电压：-20V～20V 老化温度和时间可控制
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系统电信号的控制，专用Jig的设计制作，机械装载系统制造
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目前平板产业国内发展势头强劲，对于设备需求量很大，但目前基本上全部依靠进口，以日本和韩国设备为主，其价格大概在国产设备的 3倍以上。这些设备产业化能带动国内整个平板产业迅速发展
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12.2.4
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检查机
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I
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电压控制，Jig设计和对位操作
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OLED点亮驱动技术，专用 Jig的设计制作,OLED检测图形信号设定
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12.2.5
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Panel划线机
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I
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X轴定位±0.02mm
Y轴定位±0.02mm
旋转精度±10"
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Stage平整面制作， CCD对位识别系统，刀具自动控制系统
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12.2.6
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I-V-L 测量机
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I
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Cell绑定完成后，电流、电压、亮度的测定
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驱动点亮系统设计、电信号测量系统、光信号测量系统
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编号
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产品名称
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类别
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主要技术指标
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需突破的关键技术
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市场预测或产业化前景
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12.2.7
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清洗设备
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I
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1、基板尺寸：370×470mm－730×920mm T=0.5-0.7mm； 2、大于0.5μm的颗粒杂质去除率达到95%；大于 0.3的颗粒杂质去除率达到90%； 3、有机物清洗，通过接触角测试要求小于5度； 4、生产节拍20-45秒/片
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1、设备工作的高可靠性和运转稳定性，新的清洗技术实现，改善MTBF、IN-LINE系统设计，系统安全设计，节拍和产能符合量产需求；
2、洁净、高可靠性材料开发
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目前国内平板产业发展势头强劲，对于湿处理设备需求量很大，但目前基本上全部依靠进口，以日本和韩国设备为主，其价格大概在国产设备的 6倍以上，即使台湾也高出国内2-3倍；湿处理设备的产业化能带动国内整个平板产业迅速发展
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12.2.8
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显影设备
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I
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1、基板尺寸：370×470mm－730×920mm T=0.5-0.7mm； 2、显影边缘偏差小于0.5μm； 3、不能出现过显影或显影不充分
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设备工作的高可靠性和运转稳定性，改善MTBF、IN-LINE系统设计，系统安全设计，节拍和产能符合量产需求
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12.2.9
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脱模设备
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I
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1、基板尺寸：370×470mm－730×920mm T=0.5-0.7mm; 2、脱模后检查要求基片无残留PR； 3、脱模后清洗: 1-3μm颗粒杂质的去除率达到95%
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1、设备工作的高可靠性和运转稳定性，改善MTBF、IN-LINE系统设计，系统安全设计，节拍和产能符合量产需求； 2、洁净、防静电以及耐腐蚀，高可靠性材料的开发
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编号
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产品名称
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类别
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主要技术指标
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需突破的关键技术
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市场预测或产业化前景
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12.2.10
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曝光机
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I
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1、一次曝光面积：1264mm×2114mm
2、解像力：20um
3、对位精度±2.5μm
4、光平行度：Collimation Angle : 1.2以下 ( Half Angle )；Declination Angle : 0.80 以下 (中心)
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1、高精度运动部件的加工和集成，高精度定位控制；
2、曝光环境的高洁净（100级）和温湿度管理；
3、高质量光源和高精度光路系统
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虹欧二期需要5台曝光机，国际市场单台参考价1728万元
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12.2.11
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封排炉
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I
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1、适用产品≥ 42英寸PDP屏；
2、封接温度最高470°C；真空度5.0× 10-7Torr
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1、严格温度控制曲线的炉体系统；
2、高真空系统；
3、高刚性、微小热变形的封排小车
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虹欧二期需要2套封排炉，国际市场单台参考价19200万元
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12.3
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医药装备
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12.3.1
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电子内窥镜
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I
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分别用于胃、结肠、腹腔、气管、十二指肠等检测；高分辨率成像传感器总成，不低于 100万像素，低畸变140°视场角或可变视角非球面镜，有效视距2-100mm，最大外径小于 9mm，最大弯角不低于230°
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高分辨率微型图像传感器、大视场小畸变非球面镜头、窄波光的成像技术、先进的HDTV成像技术、高质量图像处理系统
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预计国内销售量1000台左右，实现年销售收入2亿元
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12.3.2
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多排螺旋CT
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I
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16排以上，到256排螺旋 CT，探测器数量在640×16以上，孔径65mm以上，发生器功率在 40kW以上，重建时间小于0.5s
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多排（16-256排）高密度薄层（ 0.5mm层厚）CT用探测器；高速滑环技术；大功率（100kW以上）大热容量（3MHU以上）X线管；图像重建软件技术
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多排螺旋CT进入市场，预计可占70%市场份额，单台价格预计在 500万元(16排)，可形成年销售额20亿元
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编号
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产品名称
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类别
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主要技术指标
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需突破的关键技术
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市场预测或产业化前景
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12.3.3
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X射线正电子发射计算机断层扫描仪
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I
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空间分辨率高于6mm，单环或双环PET探测器， X线CT成像部分不低于16排（含）以上多排螺旋CT
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高灵敏度、高时间分辨率、高空间分辨率的光子探测晶体和光电检测器件；高时间分辨率的快符合电路；高速实时数据处理系统、三维重建软件和图像数据融合技术； FDG示踪剂；标准影像模体
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预计国内需求3000台套左右，每套按照产品售价800万元人民币（进口产品价格 300-500万美元）计，年装备量可达100台套，实现年销售额8亿元左右
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12.3.4
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医用磁共振成像设备
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I
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超导型，场强1.0-5T，孔径大于60cm，梯度强度大于50mT/m，最大切换率>200mT/m/ms,高速谱仪应达到64通道以上，1Mhz/每通道以上
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多通道数字化谱仪；大功率射频放大器；超导磁场技术；梯度放大器；梯度线圈；射频线圈；软件及序列
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国内MRI市场将达到年需求500台以上，超导产品将实现 50%的市场覆盖。按照每台400万元人民币测算，年装备250台，实现年销售额 10亿元左右
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12.3.5
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数字X射线探测器
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I
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基于非晶硅等材料的 X射线图像传感器，像素尺寸<150μm，读出速度大于80MPS，密度分辨率大于14bit，静态探测器空间分辨率高于3.5Lp/mm，动态探测器空间分辨率不低于2.5Lp/mm，DQE>60%@0.1Lp/mm,灵敏度高于0.5uR/f，静态探测器读出时间<5s，动态探测器读出速度不低于25fps
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高填充率（高于70%）、低漏电流光电二极管阵列；高开关比（ 10-7E）低漏电流晶体管阵列；TFT基板制程；高密度（256通道）高信噪比读出电路 IC；针状碘化铯生长技术；实时动态图像读出技术；数据校正和图像处理技术
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按照乡镇一级医院（城镇综合性医院18730家，乡镇卫生院 41694家的绝大部分）全部装备数字X线机的市场容量约180亿元。按照 10年淘汰率，每年补充市场为18亿元。探测器占有1/3的销售额。有望获得国际市场每年 30亿元以上的销售额
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编号
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产品名称
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类别
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主要技术指标
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需突破的关键技术
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市场预测或产业化前景
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12.3.6
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X射线、CT图像打印机
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I
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13.5×18英寸黑白图像打印系统，无铅无银片基，免冲印，用于 CT、核磁、X射线图像打印设备。空间分辨率不低于3.5Lp/mm,密度分辨率不低于 4096灰阶，接口数据位16bit。全幅面单张打印时间少于3分钟
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无银无铅防水透明片基技术；碳基快干墨水技术；14bit灰阶数据转换技术；高分辨率（ 2400dpi）成像打印编码技术
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我国每年消费卤化银医用胶片量在50亿元人民币，胶片制造过程和胶片洗印过程都有大量排污。每张卤化银胶片价格在 20元人民币以上。使用该产品可以节约80%的胶片成本，并彻底解决了冲印过程的污染排放
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12.3.7
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高能直线加速器
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II
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4～8MV、8～14MV、15～25MV多个能量辐照选择，等中心聚焦治疗系统，具有适形调强功能，TPS系统和IGRT系统，3光子X线输出，5档电子束能量输出
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高能、多能直线加速管；影像导引实时跟踪技术及影像成像装置；用于适型调强放射的多叶准直器；等中心聚焦机械系统及控制；具有图像融合技术、呼吸门控技术和摆位验证技术的 TPS系统
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国内外市场在每年5亿元以上，有利于打破国外公司垄断
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12.3.8
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血管造影机（DSA）
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II
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80-100kW输出功率（可向下覆盖），1-2MHU球管热容量，25-30fps透视，25-30数字电影（可向上覆盖），25-30fps实时数字减影，具有3D旋转DSA功能，具有3D重建的VCT功能，1k×1k以上图像矩阵，采用动态平板采集
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动态平板图像采集技术；实时DSA处理技术；基于锥束 CT的3D重建技术；高频高压逆变及控制技术；大热容量X线管技术；高速图像处理技术；等中心 C臂机械制造技术等
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国内市场内年在8-10亿元以上，国外市场在100亿元以上。目前国内市场 95%被国外公司垄断
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